LPP
Laser-Produced Plasma
ڕێگای دروستکردنی تیشکی EUV: لێزەرێکی بەهێز لە دڵۆپی زۆر بچووکی کانزا دەدات و دەیکاتە پلازما، و پلازماکە تیشکی EUV دەردەدات. ئامێرەکانی ASML یش بەم ڕێگایە کار دەکەن.
لە ١ هەواڵی بروسکەدا هاتووە.
ئەو هەواڵانەی ئەم وشەیەیان تێدایە
وشەکانی تری «دروستکردنی چیپ»
ئەم ڕوونکردنەوەیە بە ژیریی دەستکرد نووسراوە و بۆ تێگەیشتنی خێرایە، نەک پێناسەیەکی زانستیی ورد.هەموو ٣٥٩ وشەکەی فەرهەنگۆک